羅茨風機的過濾器經過一段時間工作后，濾料受到油、泥、雜質的污染，需要及時進行反洗，讓濾料再生、還原。否則，過濾的效果將會變得越來越差，甚至濾料板結，失去過濾的功能。雙濾料過濾器由于濾料的粒徑小，特別容易板結。在雙濾料過濾器的工藝流程中，為了較好的清洗濾料，在水沖洗之前，沒有排水、氣沖洗、排氣三個流程。
羅茨風機在過濾時濾前進水閥開啟過濾后出水閥開啟，過濾罐體進行過濾。排油氣閥C斷續開啟，排出罐頂的油氣。
在排水時，排油氣閥和排水閥開啟，濾罐內的水通過排水閥向外排放。排油氣閥給罐內補充空氣，這樣濾罐內的水才能放出，為氣沖洗準備空間。
氣沖洗是用羅茨風機，將低氣壓，大排量的氣體通過氣沖洗管線、氣沖洗閥進入罐底，將濾料層疏松、破碎，使濾料水沖洗效果更好。氣沖洗時，羅茨風機啟動，氣沖洗閥門開啟，排油氣閥也開啟，氣體通過排油氣閥排出罐外。
氣沖洗的作用與水沖洗的效果有直接關系，是反洗過程中很重要的一個流程。
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